Ovens met inerte atmosfeer, ook wel anaërobe ovens genoemd, zijn ontworpen voor warmtebehandeling met niet-oxiderende gassen zoals stikstof in een afdichtingsomgeving. Het is geschikt voor warmtebehandeling in een atmosfeer met een lage zuurstofconcentratie.
Beschrijving
De Inert Atmosphere Oven-serie wordt gebruikt in de productie van halfgeleiders voor het voorbehandeling bakken van siliciumwafels, galliumarsenide, lithiumniobaat, glas vóór PR-coating, bakken van harde films na PR-coating en bakken op hoge temperatuur na ontwikkeling; Het is ook geschikt voor productie- en wetenschappelijke onderzoeksafdelingen, zoals elektronische liquid crystal display, LCD, CMOS, IS en laboratoria; het kan ook worden gebruikt voor het drogen, warmtebehandeling, veroudering en andere hogetemperatuurtests van niet-vluchtige, niet-ontvlambare en niet-explosieve artikelen.
Belangrijkste parameters
►Technische parameters
Capaciteit: Aangepast volgens producten
Temperatuurbereik: omgevingstemperatuur +50°C ~ 250°C
Zuurstofgehalte: ≤50 ppm
Temperatuuruniformiteit: ±2,5%
Oploopsnelheid: regelbaar
Stikstofinlaat: Φ8
Stikstofstroom: 0-240L/min * 2 kanalen
►Structuur
. Binnenoven: Gemaakt van roestvrij staal en naadloos gelast met argongas.
. Hermetisch afgesloten: De kamer is afgesloten om het zuurstofniveau te verlagen.
. Luchtinlaatstructuur: zorgt ervoor dat niet-oxiderende gassen de kamer kunnen vullen.
. O2-analysator: pas het zuurstofniveau nauwkeurig aan tussen 0,5 ~ 21%
► Temperatuurcontrolesysteem
Intelligente JAPAN RKC-temperatuurregelaar, programma's en instelling van vaste waarden, AT-autotuning, offsetcorrectie en uitschakelingsbehoud.
► Geforceerde luchtconvectie
Het gepatenteerde luchtkanaal in het heteluchtcirculatiesysteem kan de temperatuuruniformiteit automatisch aanpassen.
Kenmerken voor anaërobe (inerte) ovens
► Hermetisch afgesloten roestvrijstalen studio om het binnendringen van externe atmosfeer te voorkomen
► Gebruik stikstof-inert gas voor anaërobe warmtebehandeling
► Debietmeter en manometer zijn uitgerust
► Multi-beschermingsveiligheidsvoorzieningen
Opties
► PLC+7” programmeerbare controller
► Driekleurig knipperlichtalarm
► Overtemperatuurbegrenzer
► Handmatige veiligheidsvoorzieningen
Waarom kiezen voor inerte atmosfeerovens?
Tegenwoordig zijn de bedradingsmaterialen in circuits verschoven van aluminium naar koper met een lagere weerstand. Daarom kunnen koperen onderdelen bij een warmtebehandeling in een normale droogoven oxideren, waardoor defecten ontstaan. Daarnaast wordt er ook veroudering bij 250 graden C uitgevoerd om te controleren of de gegevens die in het flashgeheugen zijn geschreven, zijn verwijderd als gevolg van elektromigratie en of de bultdelen zijn geoxideerd, waardoor het zuurstofgehalte moet worden teruggebracht tot <100 ppm. Om aan deze eisen te voldoen is deze anaerobe oven ontwikkeld.
Sollicitatie
Inerte atmosfeerovens worden voornamelijk gebruikt voor het uitharden van BPO-lijm/PI-lijm/BCB-lijm, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, uiterst nauwkeurige elektronische componenten en andere materialen in een zuurstofarme omgeving voor droog- en verouderingstests .
